Система диффузионная однозонная многотрубная модели СД.ОМ-2/100-2М, СД.ОМ-3/100-2М
|
Поделитесь страницей в Социальных сетях
|
|
 "Назначение. Система предназначена для автоматической групповой газотермическойпрецизионной обработки пластин кремния диаметром 100 мм при производстве изделий полупроводниковой электроники. Тип оборудования : трех-(двух)трубная газонаполненная электропечь периодического действия с однозонным прецизионным регулированием температуры и горизонтально-расположенным загрузочным устройством. Состав системы : устройство загрузочное; электропечь диффузионная однозонная (двухтрубная/трехтрубная); устройство газораспределения; устройство программного управления. Основные преимущества : -Высокая точность поддержания параметров технологического процесса. -Возможность проведения различных технологических режимовв каждой из труб (реакторов). Таблица. Основные технические данные Наименование параметра Значение параметра Диапазон рабочих температур в тепловой зоне реактора, °С 700 - 1300 Количество реакторов (труб), шт. 2 (для СД.ОМ-2/100-2М) 3 (для СД.ОМ-3/100-2М) Диаметр кварцевого реактора (трубы), мм, не более 150,0 Диаметр обрабатываемых пластин, мм, не более 100,0 Длина рабочей тепловой зоны, мм, не менее 600,0 Нестабильность поддержания температуры по опорной точке в пределах длины рабочей тепловой зоны при статическом режиме в реакторе (среднеквадратическое отклонение) в течение 24 часов, °С, не более 0,25 Максимальная потребляемая электрическая мощность, кВт, не более 100,0 Масса перемещаемых изделий вместе с кассетой, кг, не более 3,0 Масса системы, кг, не более 3345,0 Габаритные размеры, мм, не более длина ширина высота 4850,0 905,0 2650,0 Питание установки осуществляется от трёхфазной четырехпроводной с нулевым проводом сети переменного тока, напряжением 380/220 В ± 10 %, частоты 50 Гц ± 2,5 %. Установка изготовлена в климатическом исполнении УХЛ 4.2 по ГОСТ 15150-69. Гарантии . Срокгарантийногообслуживания печи - 12 месяцев, гарантийныйсрокхранения - 12 месяцев. Срок поставки печи: не более 6 месяцев с даты заключения договора. Обозначение при заказе : 1. Система диффузионная однозонная двухтрубная мод. СД.ОМ-2/100-2М. 2. Система диффузионная однозонная трехтрубная мод. СД.ОМ-3/100-2М."
Вас также могут заинтересовать
Комплект системы безопасности SRS Toyota Avensis СП-396/2 Комплект системы безопасности SRS Toyota Avensis - прямые поставки из Европы Комплекты системы безопасности SRS на Toyota Avensis со склада
Состав ткани: 100 шерсть. Venzano - стиль легкой победы для мужчин, стремящихся к победе, нацеленных на успех, добивающихся побед в бизнесе и жизни, примеряющих на себя удачу вместе с нашим костюмом!
Женская одежда больших размеров Только у нас - самые стройные цены для самых пышных красавиц! Наша компания является представителем Модного Дома "Sofilena"в г. Екатеринбурге. Мы предлагает совре
Мембрана для моделей Infant (диаметр 2,3 см) 36561 крастность заказ 10 штук Компания ЗАО "Арника" приветствует Вас в своём интернет-магазине. Мы являемся официальным партнёром компании 3М (Minneso
Назначение Система измерения и регулирования расхода воды «СКРВ-2» предназначена для автоматического измерения и регулирования расхода воды и технологических жидкостей. Область применения Система може
Внимание!
Информация по Система диффузионная однозонная многотрубная модели СД.ОМ-2/100-2М, СД.ОМ-3/100-2М предоставлена компанией-поставщиком НПО ГКМП, ООО. Для того, чтобы получить дополнительную информацию, узнать актуальную цену или условия постаки, нажмите ссылку «Отправить сообщение».
|
