Поиск:
 

Оборудование и технологии для прецизионного плазмохимического травления и осаждения тонких пленок

RU-1000 Рейтинг
Поделитесь страницей в Социальных сетях
Оборудование и технологии для прецизионного плазмохимического травления и осаждения тонких пленок
В настоящее время в мире ведутся активные фундаментальные и прикладные исследования в области создания и применения приборов и устройств на основе широкозонных полупроводников, а именно нитридов третьей группы, карбида кремния и алмаза. Интерес к широкозонным полупроводникам прежде всего связан с тем, что параметры изготавливаемых по традиционной арсенид-галлиеовой и кремниевой технологии полупроводниковых устройств подошли к физическому пределу. Транзисторы нового поколения и мощные светодиоды будут изготавливаться именно на основе широкозонных полупроводников. Перспективность применения таких полупроводниковых материалов определяется уникальным сочетанием их электрофизических и химико-технологических характеристик. Приборы, основанные на широкозонных материалах, могут эксплуатироваться в экстремальных условиях: при высоких температурах (до 300-400° С), в химически агрессивных средах и под воздействием радиации. Другое направление развития современной микроэлектроники - это миниатюризация полупроводниковых и микромеханических устройств. Все больше элементов имеет характерный размер порядка или даже менее 100 нм. Основными производителями технологического оборудования осаждения и травления тонких пленок являются: AIXTRON, EMCORE, Thomas Swan, Veeco, Oxford Instruments, UNAXIS, Leybold. ФГУП ЭЗАН совместно с российской научной компанией ЭпиЛаб и Институтом проблем технологии микроэлектроники РАН (ИПТМ) и разрабатывают и изготавливают автоматизированное оборудование для прецизионного травления и осаждения тонких пленок. В данном оборудовании применяется СВЧ плазма в условиях электронного циклотронного резонанса (ЭЦР). Условием такого резонанса является совпадение частоты СВЧ накачки плазмы с собственной частотой вращения электронов плазмы в магнитном поле. Применение ЭЦР плазмы дает целый ряд преимуществ по сравнению с традиционным технологическим оборудованием. Макетные образцы ЭЦР оборудования работают в ИПТМ более 15 лет. Лаборатория Эпитаксиальных структур ИПТМ РАН собрала и поставила за рубеж порядка десяти подобных пилотных установок. Заказчиками выступили институты США, Швеции и Китая. Все установки успешно работают и используются исследовательскими группами при создании полупроводниковых и микромеханических структур для фундаментальных и прикладных исследований.
Вас также могут заинтересовать

Оборудование, оснастка, технология для производства хлеба из целого пророщенного зерна пшеницы Довольство

Производство хлеба «Довольство» и другой продукции совершенно спокойно вписывается на базе традиционного хлебопечения (пекарни, цеха, хлебозавода). В этом производстве нужно предусмотреть помещения дл

Оборудование и технологии для нефтегазового комплекса

Журнал публикует научные статьи, новые патенты, полезные модели, рацпредложения, изобретения, новое оборудование и технологии с техническими характеристиками по всем отраслям нефтяного и газового прои

ПикаЭталон П-11-290 (Томские технологии) для отбойных молотков МОП и МО

Острая пика П-11 (производства ООО Томские технологии г. Томск) применяется в работах для максимально эффективного разрушения асфальта, горной породы, твердого грунта, сноса стен и т.п. Идеально выдер

Очиститель Weicon Parts and Assembly Cleaner для элементов оборудования и запасных частей (30 л) {wcn15211030}

Очиститель Weicon Parts and Assembly Cleaner - специально разработанный очиститель, не содержащий ацетона, бутанола, этилацетата, обладает высокой температурой воспламенения (> +60°C активного ингр

Очиститель Weicon Parts and Assembly Cleaner для элементов оборудования и запасных частей (10 л) {wcn15211010}

Очиститель Weicon Parts and Assembly Cleaner - специально разработанный очиститель, не содержащий ацетона, бутанола, этилацетата, обладает высокой температурой воспламенения (> +60°C активного ингр
Внимание!
Информация по Оборудование и технологии для прецизионного плазмохимического травления и осаждения тонких пленок предоставлена компанией-поставщиком ЭЗАН (Экспериментальный завод научного приборостроения со Специальным конструкторским бюро), ФГУП. Для того, чтобы получить дополнительную информацию, узнать актуальную цену или условия постаки, нажмите ссылку «Отправить сообщение».
Контакты компании
Страна
Россия
Регион
Московская область
Город
Черноголовка
Адрес
Черноголовка, просп. Академика Семенова, д. 9
Телефон
+7 (495) 9933757
Сделать запрос
Введите свое имя
Укажите свой Email
Напишите ваш вопрос
Подтвердите согласие