Книга В.К. Варадана, К.Д. Виноя и К.А. Джозе «ВЧ МЭМС и их применение» посвящена обзору состояния дел в области разработки и изготовления электромеханических систем и их компонентов. В ней подробно рассмотрены вопросы проектирования и технологические аспекты производства разнообразных микроустройств: переключателей, регулируемых индукторов и конденсаторов, фильтров, фазовращателей, линий передач и антенн, приведены преимущества и недостатки каждой отдельной конструкции и указаны способы их оптимизации. Целая глава книги посвящена такой важной теме, как монтаж микросистем, где обсуждаются методы построения корпусов микросистем и способы их сборки. Детальное описание методов изготовления микроустройств, как традиционных, применяемых в микроэлектронной промышленности, так и современных, разработанных специально для микросистем, является достоинством данной книги.
Актуальность книги обусловлена быстрым прогрессом в области беспроводных систем связи, повлекшим за собой расширение областей применения ВЧ и СВЧ микротехники. Для России, где наблюдается существенное отставание в технологии изготовления микроэлектронных устройств, а развитие электромеханических микросистем и вовсе только начинается, актуальность книги во много раз возрастает. Тем более, что у нас наблюдается ощутимая нехватка литературы, посвященной этой тематике.
Достоинством книги является также то, что в ней использованы материалы, написанные ведущими разработчиками микросистем со всего мира.
Данная книга предназначена, в первую очередь, для инженеров-разработчиков ВЧ и СВЧ электромеханических микросистем и их компонентов. Она будет полезна специалистам, занимающимся разработкой мобильных систем связи.
