Магнитно-аэростатический XY координатный стол

ЛУЧШЕЕ ПРЕДЛОЖЕНИЕ НА РЫНКЕ СОВРЕМЕННЫХ УСТРОЙСТВ ПОЗИЦИОНИРОВАНИЯ Магнитно-аэростатический XY- координатный стол разработан для обеспечения точности позиционирования на уровне нескольких нанометров при большой длине хода. Применение Технологическое оборудование для фотолитографии Оборудование для контроля качества OLED, LCD дисплеев солнечных элементов фотомасок микроэлектронных устройств Приводы сверхточных станков Предметные столы микроскопов Целевые рынки Полупроводниковая промышленность Сверхточное станкостроение Оборудование для хранения данных Микроскопия, метрология Оптика, фотоника, лазерные системы Производство плоских дисплеев Солнечная энергетика Основные узлы координатного стола Магнитно-аэростатический XY-координатный стол обеспечивает существенный подъем точности позиционирования с помощью специальных узлов: Бесконтактная Магнитная Винтовая Передача (БМВП) Аэромагнитная направляющая Ключевым узлом Магнитно-аэростатического XY-координатного стола является Бесконтактная Магнитная Винтовая передача (БМВП). БМВП имеет в своем составе магнитную систему на основе постоянных высокоэнергетических магнитов, которая обеспечивает высокую жесткость и исключает нагревание деталей протекающим электрическим током. Механизм БМВП аналогичен обычной паре винт-гайка: при повороте винта гайка совершает поступательное движение. Однако БМВП - полностью бесконтактный механизм, т.е. между резьбой винта и гайки нет контакта. Аэромагнитные направляющие это полностью бесконтактные направляющие с пористыми аэростатическими подшипниками и постоянной магнитной системой. Магнитная система предназначена для обеспечения высокой жесткости и нагрузки, противодействующей аэростатическим подшипникам, которые используются для поддержки зазора между рельсом и танкеткой. Аэромагнитные направляющие имеют низкий профиль и легко интегрируются в координатные столы и платформы. Конструкция координатного стола Магнитно-аэростатический XY-координатный стол имеет специальную портальную конструкцию для увеличения производительности и стабильности позиционирования. В конструкции предусмотрено оптимальное расположение центра масс относительно центра приложения силы для повышения надежности и снижения погрешности позиционирования. Этот продукт идеально подходит производителям высокотехнологичного оборудования и системным интеграторам. Координатный стол оснащен двумя линейными приводами: для позиционирования образца для позиционирования портала Такая конструкция повышает стабильность движений и обеспечивает дополнительные преимущества технологическому процессу. Дополнительно, XY-координатный стол оснащен гранитной станиной, которая обеспечивает температурную стабильность.